紫外臭氧清洗機是一種簡單,經濟,快速高效的材料表麵清洗設備,能快速去除大多數無機基材(比如石英,矽片,金,鎳,鋁,砷化镓,氧化鋁等)上的有機汙染物。它常用於掃描探測顯微鏡的樣品應用,該設備能用於清洗原子力顯微鏡探針,掃描探針顯微鏡標準和表麵上常規的油漬層和殘留的無機材料,也能用來改變物體表麵的疏水性,有助於部件和表麵的化學改性,經過氧化和硬化處理的探針有利於在掃描過程中保持探針的幾何形狀,削尖的探針有利於提高側向分辨率。
臭氧清洗機設備已經用於納米技術,化學,生物學,光學,電子學,半導體和其他全球範圍內的科學實驗室。
紫外臭氧清洗機的特點:
1、UVO基礎型采用可編程數字控製器,設置操作簡單方便,四鍵操作控製。UVOP和UVOT係列采用5寸彩色觸摸屏設置顯示計時時間及加熱溫度。
2、自動補償功能,自動恒定光強光密度,不會因為低壓汞燈老化光強衰減影響清洗效果。
3、數字倒計時顯示清洗時間,1-999分鍾之間可自行設置清洗時間。
4、可隨時手動中斷處理過程。
5、自動記錄之前清洗參數設置。
6、樣品台可控溫(可選),控溫範圍RT-260℃,控溫精度0.1℃。
7、頂置下壓式鉸鏈開關蓋方式,操作簡單方便。
8、上置式樣品台設計,360度自由放置樣品,操作方便。
9、樣品台高度可調,通過調節燈與樣品之間的間距,可以合理定位樣品高度和位置,並可鎖定。
10、UV石英低壓汞蒸汽格柵燈,燈管壽命大約為8000小時。
11、高強度UV燈源,波長185nm和254nm。
12、UV反射罩(長x寬)比UV格柵燈大2.5cm,比如規格為13x13cm格柵燈反射罩尺寸大於15×15cm。
13、雙重安全保護,當清洗腔打開時,係統安全鎖會關掉UV燈,並有燈光通斷提示。
14、帶進&出氣口雙氣路設計,可接入氧氣或者臭氧,增加臭氧產量。
15、UVO5可選外置臭氧中和器,UVO9、UVO12係列可選外置或者內置臭氧中和器,用於臭氧清除。
16、可根據客戶要求定製鋁或石英材料真空反應腔。