常用的草莓网站WWW入口體激發頻率有三種：激發頻率為40kHz的草莓网站WWW入口體為超聲草莓网站WWW入口體，13.56MHz的草莓网站WWW入口體為射頻草莓网站WWW入口體，2.45GHz的草莓网站WWW入口體為微波草莓网站WWW入口體。?不同草莓网站WWW入口體產生的自偏壓不一樣，超聲草莓网站WWW入口體的自偏壓為1000V左右，射頻草莓网站WWW入口體的自偏壓為250V左右，微波草莓网站WWW入口體的自偏壓很低，隻有幾十伏，而且三種草莓网站WWW入口體的機製不同。

　　超聲草莓网站WWW入口體發生的反應為物理反應，射頻草莓网站WWW入口體發生的反應既有物理反應又有化學反應，微波草莓网站WWW入口體發生的反應為化學反應。超聲草莓网站WWW入口體清洗對被清潔表麵產生的影響大，因而實際半導體生產應用中大多采用射頻草莓网站WWW入口體清洗和微波草莓网站WWW入口體清洗。而超聲草莓网站WWW入口則應用於表麵除膠、毛刺打磨等處理方麵效果佳，典型的草莓网站WWW入口體物理清洗工藝是在反應腔體中加入氬氣作為輔助處理的草莓网站WWW入口體清洗；氬氣本身是惰性氣體，草莓网站WWW入口體的氬氣不和表麵發生反應，而是通過離子轟擊使表麵清潔。

　　典型的草莓网站WWW入口體化學清洗工藝是氧氣草莓网站WWW入口體清洗。通過草莓网站WWW入口體產生的氧自由基非常活潑，容易與碳氫化合物發生反應，產生二氧化碳、一氧化碳和水等易揮發物，從而去除表麵的汙染物。?以物理反應為主的草莓网站WWW入口體清洗，也叫做濺射腐蝕（SPE）或離子銑（IM），其優點在於本身不發生化學反應，清潔表麵不會留下任何的氧化物，可以保持被清洗物的化學純淨性，還有一種草莓网站WWW入口體清洗是表麵反應機製中物理反應和化學反應都起重要作用，即反應離子腐蝕或反應離子束腐蝕，兩種清洗可以互相促進，離子轟擊使被清洗表麵產生損傷削弱其化學鍵或者形成原子態，容易吸收反應劑，離子碰撞使被清洗物加熱，使之更容易產生反應；選用40KHZ超聲草莓网站WWW入口再加入適當的反應氣體，可以有效去除膠質殘渣、金屬毛刺等等，2.45G的微波草莓网站WWW入口常用於科研方麵及實驗室。